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Título : Power deposition influence on the electrical and optical properties of Sn1-xO2 Nb x thin films obtained by sputtering
Otros títulos : Influencia de la potencia de deposición en las propiedades eléctricas y ópticas de películas delgadas de Sn1-xO2 Nbx obtenidas por pulverización catódica
Autor : Uribe Alzate, Jose Ignacio
Jaramillo Isaza, Franklin
Callejas Giraldo, Juan Esteban
Osorio Vélez, Jaime Alberto
Palabras clave : Deposición
Propiedades eléctricas
Propiedades ópticas
Películas delgadas
Pulverización catódica
Conductores
Fecha de publicación : 2016
Editorial : Universidad de Antioquia, Facultad de Ingeniería
Citación : J. I. Uribe, F. Jaramillo, J. E. Callejas and J. A. Osorio, "Power deposition influence on the electrical and optical properties of Sn1-xO2 Nb x thin films obtained by sputtering", Rev. Fac. Ing. Univ. Antioquia, no. 80, pp. 152-158, 2016.
Resumen: In a solid, the electrical conductivity and optical transparency seem to be two contradictory physical properties. Conductive materials are opaque, and transparent solids are electrical insulators. Combinations of these two physical properties in a material make it appropriate for application in many optoelectronic devices. The coincidence of these two properties has been mainly ascribed to point defects in the crystal lattice. In this work, we performed structural, electrical and optical characterization of thin films of one of the most promising transparent conductive oxides Sn1-xO2 Nbx . The films were grown on glass substrates by RF magnetron sputtering technique. As the deposition power was varied, it was found that the electrical conductivity of the films increased with increasing power deposition, and they showed a preferential growth in the (200) direction. All films exhibited optical transmittance in the visible range larger than 80%.
Abstract : En un sólido la buena conductividad eléctrica y la transparencia óptica parecen ser 2 propiedades contradictorias. Los materiales conductores son opacos, y los sólidos transparentes son aislantes eléctricos. La combinación de estas dos propiedades en un material lo hacen muy atractivo para una gran cantidad de aplicaciones optoelectrónicas. En este trabajo se realiza la caracterización estructural óptica y eléctrica de uno de los óxidos conductores transparentes más prometedores, el Sn1-xO2 Nbx . Las películas fueron crecidas sobre sustratos de vidrio por la técnica de sputtering RF. Al cambiar la potencia de deposición se halló que la conductividad eléctrica de las películas crecía al aumentar la potencia de deposición, lo cual coincidía con un crecimiento preferencial de las películas en el plano (200). Todas las películas muestran una transmitancia mayor al 80 % en el rango visible.
Grupo de INV. : Centro de Investigación, Innovación y Desarrollo de Materiales (CIDEMAT)
URI : http://hdl.handle.net/10495/5901
ISSN : 01206230
24222844 E
Aparece en las colecciones: CIA (Centro de Investigaciones Ambientales y de Ingeniería)

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